---提供加工SU-8模具和PDMS芯片的全部產(chǎn)品---
現(xiàn)在任何實(shí)驗室在不要超凈室的情況下都可以加工SU-8模具和PDMS芯片
● 節(jié)省時間：我們提供并安裝您實(shí)驗室中的所有設(shè)備
● 易于使用：通過我們的P&P儀器和培訓(xùn)，一周后您就可以在您的實(shí)驗室內(nèi)加工PDMS芯片
● 節(jié)省空間：相當(dāng)于3平方米的傳統(tǒng)潔凈室
● 高分辨率：達(dá)到與無塵超凈室內(nèi)的相同分辨率
一站式軟光刻設(shè)備包包括實(shí)驗室內(nèi)加工模具和復(fù)制PDMS芯片所需要的一切。該包包括所有設(shè)備和支持自主加工微流控芯片。
一站式軟光刻設(shè)備包是一個交鑰匙工程，不需要購買任何附加設(shè)備�；旧现恍枰粋�化學(xué)通風(fēng)廚和一個小工作空間。我們根據(jù)您的需求來一起調(diào)整設(shè)備包的組成。
特點(diǎn)&優(yōu)勢
● 達(dá)到與無塵室中相同的圖案分辨率
● 獲得許多后續(xù)PDMS模具的強(qiáng)光阻圖案
● 穩(wěn)定可靠的流程可輕松實(shí)現(xiàn)重復(fù)性
● 即使沒有微加工的初步知識，也可以加工您的模具。
● 獲得良好的儀器設(shè)備以便確保您的設(shè)備有較長的使用壽命
● 高度可重復(fù)的芯片加工工藝
● 快速加工工藝并在24小時內(nèi)生產(chǎn)您的芯片
● 充分利用我們在軟光刻工藝方面的知識
包括
儀器：
● 完整的空氣等離子系統(tǒng)
● 用于快速PDMS固化的烤箱
● 用于PDMS脫氣的干燥器
● 可編程旋涂機(jī)
● 紫外燈——LED曝光
● 可編程熱板
● 。。。
附件：
包括所有實(shí)驗配件（硅片、鑷子、載玻片、培養(yǎng)皿、一次性杯子、攪拌棒、解剖刀等）。我們?yōu)槟峁┧挟a(chǎn)品的參考信息和供應(yīng)商信息以填充您的庫存。
化學(xué)試劑：
包括所有化學(xué)品（SU8、粘附促進(jìn)劑、SU8顯影劑、異丙醇、丙酮等）。我們?yōu)槟峁┧挟a(chǎn)品的參考信息和供應(yīng)商信息以填充您的庫存。
如下是對PDMS芯片加工設(shè)備的簡要介紹
等離子清洗器
第一個專為PDMS鍵合設(shè)計的等離子清洗器，這種自動化等離子可以輕松加工您的PDMS微流體器件。由于其采用真空反饋回路，所以，該等離子清洗器可自動調(diào)節(jié)腔室內(nèi)的真空而無需手動調(diào)節(jié)。
主要優(yōu)勢
便于PDMS鍵合的自動壓力調(diào)節(jié)
用于隨時間重現(xiàn)過程的低壓漂移量表
安全的真空泵以避免污染等離子室
三種射頻功率可用
數(shù)字真空計
與3-6英寸晶圓兼容的精細(xì)真空調(diào)節(jié)
烘箱
傳統(tǒng)干燥箱，前面板帶有雙金屬流體膨脹探頭熱調(diào)節(jié)器。這款4英寸晶圓的烘箱可讓您高效的鍵合PDMS芯片。事實(shí)上，它的大小適用于培養(yǎng)皿的尺寸，一次可加熱兩個模具。其較小的占地面積可實(shí)現(xiàn)快速預(yù)熱和較小的電耗。這是一個真正可以移動的設(shè)備，可以隨處安裝。
主要優(yōu)勢
使用方便
鋁制內(nèi)腔可以更好的散熱
用于排氣的進(jìn)入腔室內(nèi)的可調(diào)流量的空氣
適用于15毫米培養(yǎng)皿的占用空間
兩個內(nèi)部的架子
加熱時發(fā)出輕微警告
從1 min到120 min的計時器
旋涂機(jī)
這款旋涂機(jī)結(jié)構(gòu)緊湊且具有先進(jìn)的功能，適用于直徑高達(dá)150 mm的晶圓和127 mm × 127 mm的基材。該旋涂機(jī)可對可控且重復(fù)性的PDMS層進(jìn)行精細(xì)的調(diào)節(jié)。其緊湊的尺寸可使該設(shè)備實(shí)現(xiàn)真正的移動。此外，蓋子上的孔允許進(jìn)行動態(tài)PDMS涂層。
主要優(yōu)勢：
專為易用性而設(shè)計
從操作面板或PC上進(jìn)行簡單的編程
能夠以多種加速度和速度來設(shè)置復(fù)雜的序列
易于清潔
延長使用壽命的非堵塞系統(tǒng)
低振動
可到12000 rpm的速度
提供晶圓定心工具
紫外燈
這種紫外燈是一個非常緊湊的臺式系統(tǒng)，能夠曝光直徑達(dá)4英寸晶圓的表面區(qū)域。這種自動紫外線系統(tǒng)兼容硬（物理）或軟（接近）掩膜接觸，并且具有可變掩膜到基底距離控制功能。
在2μm分辨率下，該儀器特別適用于軟光刻的應(yīng)用。閃光曝光能夠減少光致抗蝕劑的內(nèi)部機(jī)械應(yīng)力。其小尺寸可以安裝在任何你想要的地方，尤其是在潔凈室外。
主要優(yōu)勢：
在整個晶圓表面區(qū)域（帶寬低于10nm）進(jìn)行完美的單色曝光
冷紫外曝光
光的發(fā)散角小于2°
強(qiáng)大的功率密度
長壽命LED：超過10,000小時，相當(dāng)于8-10年的使用壽命
LED的快速打開/關(guān)閉開關(guān)按鈕允許對光刻膠進(jìn)行閃光操作
用于曝光循環(huán)編程操作的用戶友好的觸摸屏界面
不需要預(yù)熱時間
紫外光源強(qiáng)度的直觀控制
自動化的晶圓裝載和卸載系統(tǒng)
可使用玻璃和塑料光罩
定向紫外光束
UV功率的時間沒有變化
4英寸晶圓上的高度UV均勻性
集成的UV測量儀
熱板
確保準(zhǔn)確、均勻和穩(wěn)定的溫度設(shè)定點(diǎn)。該數(shù)字熱板設(shè)備可以設(shè)置加熱和冷卻的溫度斜坡。通過其可編程控制（可使您的光刻過程自動化）可讓您的生活更輕松。
其鋁制頂板及其大面積的加熱表面能夠在溫度均勻的足夠?qū)挼膮^(qū)域內(nèi)有效地烘烤4英寸晶圓上的SU-8光刻膠。溫度斜坡能夠減小光刻膠層內(nèi)的機(jī)械應(yīng)力。
主要優(yōu)勢
用于加熱和冷卻的溫度斜坡
4英寸晶圓上的高溫均勻性
沒有隨時間的溫度傳感器漂移
微處理器顯示保持一致的濕度
較小的溫度過沖
自動計時器
易于光刻膠清潔的平滑鋁板
直接從PC上控制時間計數(shù)、溫度和設(shè)定點(diǎn)。
輔助設(shè)備
空氣壓縮機(jī) 顯影儀 超聲浴清洗器 真空泵
一站式微流控PDMS芯片加工設(shè)備列表
Elveflow微流控儀器中文版產(chǎn)品目錄（2019）下載，請點(diǎn)擊 這里
如何從SU-8模具中加工PDMS芯片？請點(diǎn)擊 這里
PDMS微流控芯片的制作流程及其應(yīng)用，請點(diǎn)擊 這里
微流控實(shí)驗系統(tǒng)的通用配置方案，請點(diǎn)擊 這里
